ウェーハ洗浄・電極剥離作業
フォトリソグラフィ(ミクロンオーダーのパターニング)
金属薄膜形成
レジスト膜厚、金属薄膜膜厚測定
電極幅、周期分極デューティー測定
高電界印加による周期分極構造製造
分極反転後の歪み除去処理
クラス1000
クラス100
光軸アライメント固定
パッケージング
株式会社オキサイド
