結晶ウエハ表面形状(ソリ、うねり)、寸法計測、高さ計測
簡易モニター実体顕微鏡
反射位置測定
挿入・反射・偏光依存損失、分散
LD光源、ガスレーザ、チューナブルレーザー
レーザビーム径測定
光コネクタ加工
恒温・恒温恒湿槽、ヒートサイクル試験機(気・液相)