光学関連装置

ドラフトチャンバー

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ウェーハ洗浄・電極剥離作業

マスクアライナー

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フォトリソグラフィ(ミクロンオーダーのパターニング)

スパッタ装置(蒸着装置)

Sputtering-Equipment-img

金属薄膜形成

段差測定器

Surface-Profiler-img

レジスト膜厚、金属薄膜膜厚測定

自動線幅測定器

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電極幅、周期分極デューティー測定

分極反転装置

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高電界印加による周期分極構造製造

アニール(ベイク)オーブン

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分極反転後の歪み除去処理               (~500℃まで)   

クリーンルーム

Cleanroom-class1000-img

クラス1000

クリーンルーム

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クラス100

レーザースポット溶接機

光軸アライメント固定

 

◆上記装置を用いた各種プロセスや測定サービスも
 承ります。ご相談下さい。

シーム溶接機

パッケージング

                  

 

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