単結晶 計測・評価装置

分光測定機
光吸収測定

DSC(示差熱計)
キュリー温度(TC)測定

偏光顕微鏡
結晶内サブグレイン/異物の有無 確認用

ラウエカメラ
結晶方位測定

カット面検査機
結晶カット面の方位確認

トポグラフィー
結晶ウエハの欠陥や歪みなどの分布や形などを、2次元マッピング情報(画像)として撮影・観察

シュリーレン
サブグレイン有無確認/屈折率測定

ザイゴ干渉計
結晶ウエハ表面粗さ計測、内部屈折率計測

屈折率測定機
結晶ブロック・ウエハの屈折率、複屈折率を測定

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