DUVレーザ 技術情報

他を凌駕する高い出力と信頼性で、
お客様のニーズにお応えいたします。

Frequad-HPの1W出力レーザは266nm連続波レーザにて他社比で4倍以上の出力があり
世界最高出力を誇っております。(2012.12月現在 カタログモデルにて オキサイド調べ)
オキサイドでは、これに甘んじる事無く、結晶開発、レーザ開発を継続し、更なる高出力化のご要望にお応えすべく研究開発に取り組んでいます。

超高純度BBO結晶

bbo-imgオキサイドの優れた品質のBBO結晶により、ワンスポットあたり、1W機で3,000時間以上(製品保証は2500h又は1年)、10mW機では10,000時間以上の連続発振が可能です。(製品保証は5000h又は1年)
この為、クリスタルシフトに伴う頻繁な光学調整によるダウンタイムがありません。
またビーム品質に大きく影響を与えるBBO結晶端面のダメージが極めて小さい事から、長時間に渡って安定したビーム品質を維持することが可能です。

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洗練されたサーボロッキング技術

外部共振器に用いているロッキング用ボイス・コイル・モータ(VCM)は、精密なポジションコントロール性、ピエゾ素子に比べ大きなストローク、広い周波数応答特性を有し、優れたロッキング安定性能を実現しています。

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低消費電力

外部共振器方式の波長変換手法により、高い効率の波長変換を実現したことで、消費電力を340W以下に抑えたコンパクトで使い易いレーザシステムを実現しました。
オキサイドのUVレーザはDPSSレーザの新たな1ページを開きます。

CDAによる長寿命化

深紫外線レーザに使用する光学素子は、深紫外線発生時、雰囲気中の不純物に対して極めて敏感に反応し劣化します。
オキサイドではCDA(Crean Dry Air)を共振器内に流す事により、レーザ寿命を伸ばしCOOの改善に大きく貢献しています。
同時に、アウトガス評価、不純物の質量分析等を通じ、更なる信頼性の向上に向けて研究開発に取り組んでおります。

アプリケーション

半導体検査装置用レーザ光源、液晶検査装置用レーザ光源、精密干渉露光用光源、分析用光源として、既に多くのインストール実績が有り、保守サービスに関してもお客様から高いご満足を頂いております。

メンテナンス性を考慮した設計により、Frequad-HPの深紫外用外部共振器の交換時間は僅か4時間程です。
通常、お客様の設備のメインテナンススケジュールに合わせて交換を行わせて頂いております。

お客様から定期分解整備で戻って来るレーザの中には製品保証時間を遥かに超える17000時間の稼働時間を超える個体もあり、これら実績に裏付けられた高い信頼性こそが、オキサイドの誇りであり、お客様へのコミットメントであると考えます。

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