単結晶関連設備
すべての結晶育成方法に対して、
それぞれ専用の装置を所有する世界唯一の企業です。 ＊）当社調べ
結晶育成装置
CZ(Czochralski)法単結晶育成装置
・大型の単結晶育成が可能
・SLN, CLN, SLT, CLT, BBO, LGT, TeO2, YAG, YVO4, LSO,YSO, サファイア,アイソレータ結晶など
FZ(Floating Zone)法単結晶育成装置
・ルツボからの不純物混入の無い高純度な単結晶育成が可能、単結晶の試作に最適
・YVO4,TiO2,YIGなどアイソレータ結晶
TSSG(Top-Seeded Solution Growth)法単結晶育成装置
・高品質な単結晶育成が可能
・CLBO,LBO,KTなど
VB(Vertial Bridgeman)法単結晶育成装置
・大型の単結晶育成が可能
・BSO,LGT,LGS,LN,LBO,サファイアなど
EFG(Edge-defined Film-fed Growth)法単結晶育成装置
・板状などの形状制御した単結晶育成が可能
・STO,YVO4,サファイアなど
カイロポーラス(Kyropulos)法単結晶育成装置
・歪の少ない大型結晶の育成が可能
・各種高融点結晶、サファイア、アイソレータ材料など
結晶加工装置
3インチ内周刃切断機
2インチ内周刃切断機
外周刃切断機
ダイシング装置
円筒研削機
平面研削機
研磨機
単結晶 計測・評価装置
分光測定機
光吸収測定
ＤＳＣ（示差熱計）
キュリー温度（ＴＣ）測定
偏光顕微鏡
結晶内サブグレイン/異物の有無 確認用
ラウエカメラ
結晶方位測定
カット面検査機
結晶カット面の方位確認
トポグラフィー
結晶ウエハの欠陥や歪みなどの分布や形などを、２次元マッピング情報（画像）として撮影・観察
シュリーレン
サブグレイン有無確認/屈折率測定
ザイゴ干渉計
結晶ウエハ表面粗さ計測、内部屈折率計測
屈折率測定機
結晶ブロック・ウエハの屈折率、複屈折率を測定