光デバイス関連設備
光学関連装置
ドラフトチャンバー
ウェーハ洗浄・電極剥離作業
マスクアライナー
フォトリソグラフィ(ミクロンオーダーのパターニング)
スパッタ装置(蒸着装置)
金属薄膜形成
段差測定器
レジスト膜厚、金属薄膜膜厚測定
自動線幅測定器
電極幅、周期分極デューティー測定
分極反転装置
高電界印加による周期分極構造製造
アニール（ベイク）オーブン
分極反転後の歪み除去処理 (～500℃まで)
クリーンルーム
クラス1000
レーザースポット溶接機
光軸アライメント固定
シーム溶接機
パッケージング
◆上記装置を用いた各種プロセスや測定サービスも承ります。ご相談下さい。
光デバイス計測・評価装置
長期信頼性評価装置
非線形波長変換デバイスの長期信頼性評価
光導波路評価装置
QPM(PPMgLN)導波路の位相整合波長、変換効率、導波モードの評価
ロスプロ
NOVAWAVE社製 LossProシステム。デバイスのロス評価（1064、532、355nm）
PCI 測定装置
Stanford Photothermal Solution社製PCI-3システム。結晶材料やウエハのレーザ吸収評価(1064、532nm)
PCI 測定装置 詳細
♦委託測定サービス・装置入販売も対応いたします。詳細はご相談下さい。