Pulsed DUV/UV Fiber Laser
特長 |
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アプリケーション |
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モデル | DUV | UV(高出力) | |
動作モード | パルス | パルス | |
波長 | 266 nm | 355 nm | |
パルスエネルギー | ~3.0 μJ | ~3.0 μJ | |
ピークパワー | ~3.0 kW | ~3.0 kW | |
平均パワー | ~200 mW | ~200 mW | |
パワー可変範囲 | 20 – 100% | ||
出力 | 空間出力 | ||
繰り返し周波数 | 50 kHz | ||
パルス幅 | ~1 ns | ~1 ns | |
偏光方向 | 水平 | 垂直 | |
ビーム形状 | 楕円 | 円 | |
ファイバレーザサイズ | 120(W)×27(H)×120(L)mm3 | ||
コンバータサイズ | 40(W)×40(H)×138(L)mm3 | 40(W)×40(H)×128(L)mm3 | |
※本製品は、(独)新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の研究事業の支援を受けて開発された製品です。 |