CW DUVレーザ
製品概要
CW DUV レーザFrequadシリーズは20年以上の歴史を持つ深紫外(DUV)波長266nm 連続波(CW)単一周波数波長変換レーザのFrequad-HP, Frequad-M, Frequad-Cの技術をもとに、新たな波長を発生するCW DUV 波長変換レーザです。
266 nm Frequadシリーズで培った非線形結晶、サーボロッキング技術を搭載し、安定で長寿命のCW動作を実現します。ご要望に合わせて、さまざまな波長のCWレーザをご提案いたします。
製品チャート
特長
・高信頼性非線形光学結晶
波長に合わせて最適な非線形波長変換結晶を提案いたします。BBO結晶ならオキサイド独自の卓越した品質により、波長266 nm, 出力1 Wで3000時間以上の単一スポット寿命を実現します。また結晶の劣化が少ないため、高いビーム品質で、長期間安定した動作を保証します。
・洗練されたサーボロック技術
独自の高速、高精度ボイスコイルモーター（VCM）サーボアクチュエータが、レーザの安定したCW動作を駆動します。
Frequad-W (213 nm)
CW DUV Frequadシリーズに新しい波長が加わります。波長は213 nm, 出力は10mW。従来のFrequadシリーズのプラットフォームを活用することで、同等の長寿命と信頼性を達成しました。
主な仕様
| モデル | Frequad-* | Frequad-W |
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| Wavelength | 400…205 nm | 213 nm |
| Output power | ** W | 10 mW |
| Linewidth | < 0.005 pm | < 0.005 pm |
| Extinction Ratio | > 100:1 | > 100:1 |
| Beam Quality | TEM00 | TEM00 |
| Polarization | Vertical, Linear | Vertical, Linear |
| Power Supply | AC 100-240V, 50/60Hz | AC 100-240V, 50/60Hz |
| Power Consumption | < 340 W | < 300 W |
| Cooling | ** | Air |
| Dimensions (Head) | ** | 240 x 840 x 160 mm |
※その他ご希望の波長に合わせてカスタマイズ承ります。
アプリケーション
- 半導体検査
- ラマン分光
- フォトルミネッセンス
- ディスクマスタリング
- ファイバーブラッググレーティング