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CW 266 nm DUVレーザ

製品概要

CW 266 nm DUV レーザFrequadシリーズは20年以上の歴史を持つ深紫外(DUV)波長266nm 連続波(CW)単一周波数波長変換レーザです。当社製の高信頼性波長変換モジュールと、独自の高スピード、精密ボイスコイルモーター（VCM）レーザで安定したCW動作を実現します。出力に合わせて、3タイプ (Frequad-HP, Frequad-M, Frequad-C) から選択できます。

 

 

特長

・超高純度BBO結晶

オキサイド独自のBBO結晶の卓越した品質により、出力1 Wで3000時間以上、2 W でも1000 時間以上の単一スポット寿命を実現します。また結晶の劣化が少ないため、高いビーム品質で、長期間安定した動作を保証します。

・洗練されたサーボロック技術

独自の高速、高精度ボイスコイルモーター（VCM）サーボアクチュエータが、レーザの安定したCW動作を駆動します。

・低消費電力

高効率の波長変換レーザシステムにより、340 W未満の非常に低い消費電力動作を実現。

 

主な仕様

モデル Frequad-HP
FQ50-20/-10		 Frequad-M
FQM-10/-07/-05/-03		 Frequad-C
FQC-50/-20
 
Wavelength 266 nm 266 nm 266 nm
Output power 2.0/1.0 W 1.0/0.7/0.5/0.3 W 50/20 mW
Linewidth < 0.005 pm < 0.005 pm < 0.005 pm
Power Stability < +/-1 %/8 hrs < +/-1 %/8 hrs < +/-3 %/8 hrs
Extinction Ratio > 100:1 > 100:1 > 100:1
Beam Quality TEM00, M2 < 1.2  TEM00, M2 < 1.2 TEM00, M2 < 1.3 
Polarization Vertical, Linear Vertical, Linear  Vertical, Linear 
Beam Diameter 3 mm ±0.3 mm 3 mm ±0.3 mm 0.8 mm ±0.2 mm
Divergence (1/e2) < 0.2 mrad < 0.2 mrad  < 0.4 mrad
Power Supply AC 100-240V
50/60Hz		 AC 100-240V
50/60Hz 		 AC 100-240V
50/60Hz 
Power Consumption < 300 W < 340 W  < 70 W
Cooling Air  Water Air
Dimensions (Head) 240 x 840 x 160 mm 350 x 590 x 124 mm 153 x 202 x 79 mm

 

アプリケーション

  • 半導体検査
  • ラマン分光
  • フォトルミネッセンス
  • ディスクマスタリング
  • ファイバーブラッググレーティング

 

 

【詳細資料】
Frequad Series(EN)_20221224.pdf