微細加工向け 紫外/深紫外フェムト秒レーザ ORIGAMI 03XP/ 02XP
製品概要
ORIGAMI 03XP/02XP は、高精度な微細加工のために設計された UV/DUV フェムト秒レーザです。マイクロジュールパルスエネルギーの UV/DUV 出力は、世界最高水準の信頼性があります。波長変換モジュールにオキサイド製の高品質な非線形光学結晶を搭載することで、高ビーム品質・長寿命の UV/DUV 出力を実現しています。基本波レーザの NKT Photonics 社製 ORIGAMI XP は理想的なパルス波形を持つモードロックレーザであり、優れたビーム品質とパワー安定性、さらにはモノリシックなレーザ設計（Optocage™）による比類ないビームポインティング安定性を備えています。これによりこのレーザシステムは過酷な産業用途の環境で連続稼働する性能を有しています。
ORIGAMI 03XP-3P/02XP-3P は３波長（1030, 515, 343 nm もしくは 1030, 515, 258 nm）の出力ポートを備えおり、様々な材料の柔軟な加工に適しています。出力波長は PC の GUI アプリまたはターミナルコマンドで切り替えることができます。レーザ発振しながら１秒未満で高速な波長切替えも可能です。
ORIGAMI 03XP-2P/02XP-2P は２波長出力（1030, 343 nm もしくは 1030, 258 nm）の、非常に小さい接地面積のコンパクトモデルです。
特長
- オキサイド製の高品質な非線形光学結晶による高ビーム品質 (M2 < 1.3) ・長寿命の UV/DUV 出力
- モノリシックなレーザ設計 (Optocage™) による優れたビームポインティング安定性 (< 5 µrad/℃)
- レーザ発振しながら、高速 (< 1 秒) で波長切替えが可能
- 使いやすい GUI またはプログラム可能なコマンドによる通信制御
- 加工装置への組み込みがしやすい空冷一体型
アプリケーション
- µLED, OLED, LCD のリペアとリフトオフ
- フレキシブルプリント基板の加工
- フォトマスクのリペア
- パワー半導体（SiC や GaN）ウエハのマーキング
- ファイバブラッググレーティング（FBGs）の製造
- バイオメディカルデバイスの製造
主な仕様
| モデル | 03XP-S-3P | 02XP-S-3P | ||||
| 出力ポート | IR | GR | UV | IR | GR | DUV |
| 中心波長 [nm] | 1030 | 515 | 343 | 1030 | 515 | 258 |
| 標準繰り返し周波数 [kHz] | 50 | |||||
| パルス選択オプション | Single-shot to 1MHz, Pulse-on-Demand | |||||
| パルス幅 [fs] | < 400 | < 350 | < 300 | < 400 | ||
| 平均パワー [W] | > 3.3 | > 1.5 | > 1 | > 3.3 | > 1.5 | > 0.45 |
| パルスエネルギー [μJ] | > 66 | > 30 | > 20 | > 66 | > 30 | > 9 |
| ビーム品質 (TEM00) | ≤ 1.2 | ≤ 1.3 | ≤ 1.3 | ≤ 1.2 | ≤ 1.3 | ≤ 1.3 |
| ビームポインティング (18-28 ℃) [urad/℃] rms |
< 5 | |||||
| 備考 | 上記は、標準繰り返し周波数 (50 kHz)における仕様です。 | |||||
詳細なスペックは下記リンクのデータシートをご確認ください。高出力化や、指定の繰り返し周波数での変換効率の最適化などのオプション対応も承ります。ご相談ください。
リンク
- 紫外/深紫外フェムト秒レーザ データシート
- NKT Photonics ORIGAMI XP – UV harmonic 2 port
- NKT Photonics ORIGAMI XP – green, UV, and IR harmonic 3 port
※当社はNKT Photonics社製の超短パルスUVレーザの日本国内における独占販売店です。