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(1) モジュールベースメンテナンスが可能
お客様ご自身での交換が可能な筐体設計です。(レーザ返送が不要になります)
(2) 長時間安定した出力とビーム品質
オキサイド独自の超高純度BBO結晶の卓越した品質により、10,000時間以上の期待寿命を実現します。
また結晶の劣化が少ないため、高いビーム品質で、長期間安定した動作を保証します。
(3) 洗練されたサーボロック技術
独自の高速、高精度ボイスコイルモータ(VCM)を使用したサーボロック技術により安定動作を約束します。
(4) 低消費電力
高効率の波長変換レーザシステムにより、非常に低い消費電力動作を実現します。
| CW/Pulse | CW |
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| 波長 | 266 nm |
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| 出力 | 1 W |
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| 線幅 | < 0.005 pm |
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| 出力安定性 | < +/-1%/8 hrs |
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| 消光比 | > 100:1 |
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| ビーム品質 | TEM00, M2 < 1.2 |
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| 偏光方向 | Vertical, Linear |
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| ビーム直径 | 3 mm ±0.3 mm |
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| 発散角 | < 0.2 mrad |
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| 供給電源 | AC 100-240 V, 50/60 Hz |
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| 消費電力 | < 300 W |
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| 冷却方式 | 空冷式 |
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| 寸法(レーザヘッド) | 240 x 840 x 160 mm |
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| 用途 | 半導体検査 |
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必須機器:エアフィルタ

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