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レーザ

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レーザとは

レーザとは、電気や光のエネルギーによって励起された物質の発光が増幅されて得られる、波長や位相の揃ったコヒーレント光やそれを発生する装置のことを言います。連続波(CW)やパルス発振などの動作モードや、波長・出力・ビーム品質などの特性に応じて、材料加工、計測、検査・分析、医療、光通信、光記録・リソグラフィなど多様な分野で採用されています。用途や条件によりファイバーレーザ、固体レーザ、半導体レーザなどの方式が選ばれます。

レーザ装置の技術的特徴

1.高精度波長変換技術

オキサイドの固体レーザは、温度制御と電流制御を組み合わせた独自の波長変換技術を採用。これにより、長時間にわたる安定した波長(紫外・深紫外・真空紫外)とさまざまな出力を実現しています。研究用途や産業分野で求められる高精度な光源として最適です。

2.低ノイズ・高ビーム品質設計

結晶や光学設計を最適化し、高品質のビーム(低M²値)を実現。また、光学ノイズを最小限に抑える回路設計により、出力安定性を高めています。精密加工や高感度測定において、安定したレーザ光源として高い評価を得ています。

3.自社製造の高品質結晶による長寿命化

オキサイドが提供する独自の高出力レーザおよび高性能レーザソリューションのコア技術は、自社製造の結晶技術です。内製した高品質結晶を使用し、それを使いこなすことで、レーザ装置の品質管理を徹底し、安定した光学特性と長寿命を確保。これにより、OEMレーザやカスタムレーザ開発においても高い柔軟性と信頼性を誇ります。

オキサイドの強み

1.高精度・高品質なレーザ製品

オキサイドは独自の技術を駆使し、長時間にわたる安定した出力と優れたビーム品質を実現しています。高精度な波長変換と低ノイズ設計により、研究開発や産業用途で求められる厳しい品質基準をクリアしています。

2.幅広いカスタマイズ対応力

お客様の多様なニーズに応えるため、各種波長帯域や出力、発振方式(CW、QCW、パルス)などのカスタマイズに柔軟に対応。特注設計にも対応し、最適なレーザ装置を提供することで、各種用途に最適化されたソリューションを実現します。また、世の中にない新しいレーザの開発にも積極的に取り組んでいます。

3.豊富な実績と信頼性

大学や研究機関、半導体・医療・光通信分野の企業をはじめ、多くの導入実績を誇ります。また、オキサイドはISO9001を取得しており、国際的に認められた品質管理体制のもとで高い信頼性を確保しています。

4.充実した技術サポート体制

専門技術者による技術相談や導入後のサポートを充実させています。お客様の課題解決に向けた提案やトラブル対応を迅速に行い、安心してご利用いただける体制を整えています。レーザ開発においても高い柔軟性と信頼性を誇ります。

応用分野の活用例

半導体分野

当社のレーザ製品は、UVレーザ、DUVレーザ、VUVレーザなど、幅広い波長帯域をカバーしており、量子コンピュータの研究開発やレーザ微細加工機の高精度加工に最適です。また、ベアウエハ検査(ポリッシュト・ウエハ検査、アニール・ウエハ検査、エピタキシャル・ウエハ検査など)、パターン付きウエハ検査、半導体製造工程における欠陥検査、表面検査、微細検査、エッジ検査、分光検査といった多様な用途にも対応しています。

こうした半導体製造における微細加工や検査装置では、極めて高精度なレーザ光源が求められますが、当社のレーザ光源は安定した波長と高い出力安定性を誇り、ウエハ検査、レチクル検査、マスク検査などの工程においても性能を発揮し、半導体製造プロセス全体の品質向上に大きく貢献しています。

 

研究用途

大学や研究機関の物理・化学・生物学分野における分析や実験では、信頼性の高いレーザ光源が不可欠です。当社のレーザ光源は、幅広い波長帯域と高いビーム品質を備えており、最先端の研究開発を強力にサポートします。特に、高精度な波長変換と高いビーム品質を実現するオキサイドのレーザソリューションは、研究機関や産業界の高度なニーズに応えるために設計されています。

さらに、独自の熱管理技術を採用することで、長時間の安定動作と高出力を両立し、信頼性の高いレーザ応用を可能にしています。これにより、研究者は複雑で精密な実験を安心して行うことができ、物理学や化学、生物学といった、幅広い分野での革新的な成果を支える基盤を提供しています。

 

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