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レーザ
CW レーザ
Frequad-M57はCW 257.5 nmの単一周波数深紫外線レーザです。 安定性はもちろん信頼性が高く、露光機や検査機、及びサイトフローメータ等にお使いになる場合のメンテナンス頻度を下げてランニングコストを低減します。
(1) アルゴンイオンレーザの第2次高調波(SHG)と同波長
従来レーザの置き換えや新規に使われるお客様が、手間がかからず安定してお使い頂けるよう設計されています。
(2) 長時間安定した出力とビーム品質
オキサイド独自の超高純度BBO結晶の卓越した品質により、10,000時間以上の期待寿命を実現します。
また結晶の劣化が少ないため、高いビーム品質で、長期間安定した動作を保証します。
(3) 洗練されたサーボロック技術
独自の高速、高精度ボイスコイルモータ(VCM)を使用したサーボロック技術により安定動作を約束します。
(4) 低消費電力
高効率の波長変換レーザシステムにより、非常に低い消費電力動作を実現します。
| CW/Pulse | CW |
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| 波長 | 257.5 nm |
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| 出力 | 300 mW, 500 mW, 700 mW, 1 W |
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| 線幅 | < 0.005 pm |
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| 消光比 | > 100:1 |
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| ビーム品質 | TEM00, M2 < 1.3 |
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| 偏光方向 | Vertical, Linear |
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| ビーム直径 | 3 mm ±0.3 mm |
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| 供給電源 | AC 100-240 V, 50/60 Hz |
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| 消費電力 | < 340 W |
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| 冷却方式 | 水冷式 |
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| 寸法(レーザヘッド) | 350 x 590 x 124 mm |
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| 用途 | 半導体検査、露光機 |
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必須機器:エアフィルタ
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