HM Harmonic Module

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HM Harmonic Module

HM Harmonic Module

レーザ

レーザ関連機器・
特殊用途レーザ

HMモジュール(Fluence※1製)は、高性能な波長変換を実現するモジュールです。
ソフトウェア制御による4波長切替出力に対応し、深紫外(DUV)波長の発振が可能です。
自動波長調整機能により、精密で安定した波長変換を実現します。
ガスパージ対応の密閉型を採用し、レーザヘッドへの直接搭載やワークステーションへの自由な組込みが可能です。

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特長

（1） 1台で最大4波長の切替出力
　　　・1030/515/343/258 nmをソフトウェアで自在に切替可能

（2） 長時間安定した出力とビーム品質
　　　・高い変換効率と完全自動化された変換効率制御
　　　・長期にわたる安定した出力を実現

（3） 密閉・堅牢な筐体設計
　　　・ガスパージ対応の密閉筐体で長寿命、レーザヘッドへの直接搭載も可能

（4） カスタマイズ可能な出力構成
　　　・ビーム径やポート構成をカスタマイズ可能、OEMへのシームレスな統合

仕様

出力波長

1030/515/343/258 nm

最大ポンプ出力

最大60 W

ポンプパルスエネルギー

最大200 μJ

変換効率

> 40% (代表値~50%)(515 nm)
> 20% (代表値~30%)(343 nm)

パルスエネルギー

< 100 μJ(515 nm)
< 50 μJ(343 nm)

パルス幅

< 300 fs

波長切替

ソフトウェア自動制御

ビーム直径

2.5 ± 0.5 mm (要望により変更可)

出力安定性

< 1% (515 nm)
< 1% (343 nm)

変換効率制御

完全自動制御

制御

GUI (USB)

筐体

密閉筐体、ガスパージ対応

寸法

320 x 393 x 88.3 mm

用途

・ マイクロマシニング
・ ポリマー切断
・ 表面構造化および活性化
・ 眼科
・ 半導体・OLED製造
・ 太陽電池製造
・ ステント・医療機器製造
・ マイクロメートル精度の微細加工
・ マイクロパーフォレーション
・ マイクロマーキング

　　

特記事項

本製品はアジア圏の販売に限定されます。販売可能な地域の詳細についてはお問い合わせください。

※1) Fluence Technology sp. z o.o.（フルーエンス・テクノロジー）は、
ポーランド・ワルシャワに本社を置く超短パルスファイバーレーザの専門メーカーです。
2016年にワルシャワ大学出身の物理学者らによって設立され、学術的な光学技術を産業用途へ展開してきました。
同社は、独自のオールファイバー型フェムト秒レーザ技術を開発しており、高い環境耐性、耐振動・耐衝撃性を備えた実質的にメンテナンスフリーなフェムト秒レーザで、微細加工用途を中心に高い信頼性と長期安定運用を実現しています。

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