単結晶関連設備

Crystal Growth Facilities

すべての単結晶育成装置を保有している世界で唯一の企業です。

結晶育成装置

CZ(Czochralski)法単結晶育成装置

  ・大型の単結晶育成が可能
・SLN, CLN, SLT, CLT, BBO, LGT, TeO2, YAG, YVO4, LSO,YSO, サファイア,アイソレータ結晶など

FZ(Floating Zone)法単結晶育成装置

  ・ルツボからの不純物混入の無い高純度な単結晶育成が可能、単結晶の試作に最適
・YVO4,TiO2,YIGなどアイソレータ結晶

TSSG(Top-Seeded Solution Growth)法単結晶育成装置

  ・高品質な単結晶育成が可能
・CLBO,LBO,KT,KGWなど

VB(Vertial Bridgeman)法単結晶育成装置

  ・大型の単結晶育成が可能
・BSO,LGT,LGS,LN,LBO,サファイアなど

EFG(Edge-defined Film-fed Growth)法単結晶育成装置

  ・板状などの形状制御した単結晶育成が可能
・STO,YVO4,サファイアなど

カイロポーラス(Kyropulos)法単結晶育成装置

  ・歪の少ない大型結晶の育成が可能
・各種高融点結晶、サファイア、アイソレータ材料など

結晶加工装置

3インチ内周刃切断機

2インチ内周刃切断機

外周刃切断機

ダイシング装置

円筒研削機

平面研削機

研磨機

単結晶 計測・評価装置

分光測定機

  光吸収測定

DSC(示差熱計)

  キュリー温度(TC)測定

偏光顕微鏡

  結晶内サブグレイン/異物の有無 確認用

ラウエカメラ

  結晶方位測定

カット面検査機

  結晶カット面の方位確認

トポグラフィー

  結晶ウエハの欠陥や歪みなどの分布や形などを、2次元マッピング情報(画像)として撮影・観察

シュリーレン

  サブグレイン有無確認/屈折率測定

ザイゴ干渉計

  結晶ウエハ表面粗さ計測、内部屈折率計測

屈折率測定機

  結晶ブロック・ウエハの屈折率、複屈折率を測定